Centre d’Élaboration de Matériaux et d’Etudes Structurales (UPR 8011)


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Nanomatériaux pour l’électronique - Introduction

 

La thématique « Nanomatériaux pour l’électronique » est essentiellement centrée sur des problématiques de sciences des matériaux. Elle a pour objectif d’observer, de quantifier, de comprendre et de modéliser de nouveaux procédés, de nouvelles structures et de nouveaux matériaux destinés à être utilisés pour l’optimisation des briques de base de la microélectronique ultime. Lorsque notre expertise peut être utile, nous étendons notre domaine d’application au delà du CMOS.

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Microélectronique ultime :

 

Au delà du MOS ultime :

  •  Diode electroluminescente et cellule solaire

 

Mots clés :

  • implantation ionique
  • transfert de contrainte
  • réactivité chimique
  • semiconducteurs - Si, Ge, SiGe, Si/C
  • oxides - SiO2, HfO2, high-k
  • nitrures - SiN, TiN (métal de grille)
  • films minces, interfaces, nano-objets
  • expérience - HRTEM, EELS, Holographie électronique (DFEH), Raman, RX, mesures électriques (collaborations)
  • simulation - déformation par méthode d’éléments finis, collisions par méthode de Monte Carlo

 

Sur la base de ces acquis, nous coordonnons ou participons à des aventures technologiques destinées à la mise en place et/ou au développement de nouveaux matériaux et de nouveaux procédés pertinents pour l’industrie de la microélectronique. Nous maintenons depuis longtemps des collaborations avec les acteurs majeurs dans le domaine (centres de recherche appliquée, fondeurs et les équipementiers), soutenu par des contrats nationaux (ANR), européens et industriels.

 

Contact : sylvie.schammchardon chez cemes.fr