Centre d’Élaboration de Matériaux et d’Etudes Structurales (UPR 8011)


Accueil > Services > Atom-Tech & Procédés > Salle blanche

Lithographie

UV - KUB

Système d’insolationpleine plaque et de masquage 4 pouces.

Source UV (365nm) à LED. Résolution 2µm.

 

DILASE 650 KLOE

Equipement de photolithographie par écriture laser directe pour matérialiser des motifs dans des résines photosensibles.

La machine est équipée de :

  • deux sources laser à 375nm et 405 nm
  • une platine support motorisée de 100mm x 100mm
  • trois tubes optiques de 0.5µm, 2µm et 10µm de taille de spot après focalisation
  • trois objectifs en x10 x20 et x40
  • un système caméra de positionnement avec un champ de 300x200µm
  • résolution de 2µm