UV - KUB
Système d’insolationpleine plaque et de masquage 4 pouces.
Source UV (365nm) à LED. Résolution 2µm.
DILASE 650 KLOE
Equipement de photolithographie par écriture laser directe pour matérialiser des motifs dans des résines photosensibles.
La machine est équipée de :
- deux sources laser à 375nm et 405 nm
- une platine support motorisée de 100mm x 100mm
- trois tubes optiques de 0.5µm, 2µm et 10µm de taille de spot après focalisation
- trois objectifs en x10 x20 et x40
- un système caméra de positionnement avec un champ de 300x200µm
- résolution de 2µm