Centre d’Élaboration de Matériaux et d’Etudes Structurales (UPR 8011)


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Projet intégré "PULLNANO"

Principes Physiques gouvernant la fabrication des transistors du futur

 

Correspondant CEMES

A. Claverie

 

Type d’aide

Projet Intégré de la CE, rassemblant 38 partenaires dont 20 industriels, fabricants ou équipementiers

 

Résumé

Modélisation de la diffusion et l’activation des dopants dans les structures nanométriques, mesure et maîtrise des contraintes, simulation de l’implantation ionique dans les structures SOI de 10nm.