Centre d’Élaboration de Matériaux et d’Etudes Structurales (UPR 8011)


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Soitec

Mécanismes physiques dans le procédé SmartCut et réalisation de substrats avec couche enterrée

 

Correspondant CEMES

A. Claverie

 

Type d’aide

Contrat de Recherche Amont, Bourse CIFRE, Contrat ANR

 

Résumé

Les études concernent les mécanismes physiques à l’oeuvre dans le procédé SmartCut, notamment la précipitation de l’Hydrogène et de l’Hélium, ainsi que la réalisation de substrats avec une couche enterrée fonctionnalisée, pour intégration de nanosystèmes.