Etudes de couches minces
Le CEMES est équipé d'un diffractomètre 4-cercles, qui permet l'étude de films minces déposés sur substrat. Cet appareil permet de réaliser des mesures de réflectométrie, ainsi que la détermination de textures et/ou des contraintes résiduelles. Les mesures en réflectométrie permettent de caractériser un assemblage de mutlicouches en termes d'épaisseur de couche et de rugosité d'interfaces. D'autre part, la détermination des textures et des contraintes résiduelles dans les films minces permet de caractériser les échantillons après leur élaboration, afin de prédire leurs propriétes physiques macroscopiques. Cet appareil permet également de réaliser des cartes de l'espace réciproque, en montage symétrique ou asymétrique.
Instrument dédié
Seifert XRD 3000TT, équipé de deux monochromateurs channel-cut, un goniomètre 4-cercles, un détecteur à scintillation. Cet appareil est désormais équipé de deux bras de détection, dont un équipé d'un cristal analyseur en Germanium permettant des mesures en haute résoultion. La longueur d'onde utilisée est celle produite par une anticathode en cuivre.
Retour vers Activités et Outils


