Florent HOUDELLIER
Ingénieur de Recherche au
CNRS (IR)
STEM-EELS :

La microscopie électronique donne accés aussi bien
à des informations structurales (HREM, CBED, ...) que chimique.
En effet l'analyse de la perte d'énergie des électrons
lors de la traversée du matériau nous renseigne sur les
éléments constitutifs, ainsi qu'une multitudes d'effets
élémentaires pouvant être à l'origine
d'interaction inélastiques avec le fausceau (plasmons, band gap,
cêrenkov, etc ...).
Comme un prisme optique sépare
la lumière blanche en fonction de la longueur d'onde, un prisme
magnétique permettra de séparer les électrons
transmis (ou diffractés ou les deux ...) en fonction des leurs
énergies. On forme alors un spectre appelé spectre EELS
(Electron Energy Loss Spectrometry) permettant donc d'identifier
chimiquement les éléments présents le long du
trajet électronique, de remonter aux coefficients optiques, aux
propriétés de valence ... d'un matériau
Ce type d'étude est en général associé
à l'imagerie STEM permettant de receuillir un spectre en
balayant un spot, d'un taille infèrieure au nanomètre, le
long d'une zone d'intérêt (interface, nanoobjets, etc).
On obtient alors ce que l'on appelle des spectres lignes ou spectre image suivant si le balayage est mono ou bidimensionnel.
La figure ci-dessous présente un spectre ligne, montrant
l'évolution de la raie K de l'oxygène, L2,3 du Titane et
du Lantane le long d'une couche mince parallèlement à
l'interface.