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  Centre d'Elaboration de Matériaux et d'Etudes Structurales
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SERVICE DE PREPARATION DE MICRO ECHANTILLONS

Personnel

Jacques CRESTOU

responsable du service

Catherine CRESTOU

Dominique LAMIRAULT

Mission

Tous les échantillons des matériaux devant être observés avec un microscope électronique par transmission (MET) sont obligatoirement préparés à cet usage. Ces objets sont amincis jusqu'à des épaisseurs de l'ordre de la centaine de nm pour pouvoir être traversés par le faisceau d'électrons du microscope.

Les techniques
1 - Découpes

Les lames sont découpées dans la masse et précisément dans la zone à observer.

Matériel utilisé :

  • scie à fil diamanté WELL
  • scie à disque diamanté ISOMET
  • machine de découpe par électroérosion FANUC
  • machine de découpe à ultrasons GATAN


2 - Amincissement mécanique

Permet de descendre les lames jusqu'à des épaisseurs inférieures à 5µ

Matériel utilisé :

  • polisseuses mécaniques à plateau tournant
  • divers supports d'objet micrométriques
  • disques et poudres abrasifs, pâtes diamantées


3 - Amincissement :

  • chimique

    Matériel utilisé :
    - divers caches de qualités différentes pour protéger les parties à ne pas amincir

  • électrolytique

    • Matériel utilisé :
    - appareils de polissage électrolytique par jets TENUPOL 2 et 5

  • ionique

    • Matériel utilisé :
    - amincisseurs GATAN du type DUO MIL 600 équipés de lasers
    - amincisseur PIPS de chez GATAN, avec les dernières options

  • mécanique de précision

    • Matériel utilisé :
    - meuleuses concaves GATAN.
    - Tripodes

Ces quatre techniques permettent de descendre les échantillons jusqu'à des épaisseurs permettant l'observation au microscope MET.

Réalisation d'échantillons du type :

- vue plane
- attaque par la face arrière
- cross section
- Différentes éprouvettes pour déformation in-situ


Le logement réservé aux échantillons dans un porte objet de microscope électronique (MET) n'excède pas en général 3mm de diamètre. La dimension d'un échantillon sera donc toujours inférieure à cette dimension.

Exemple :
Cycle d'un amincissement simple d'une éprouvette de traction en SAPHIR
Survolez les images pour les agrandir



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