• Epitaxie de couches minces d'oxydes magnétiques
• dépôts en DC ou RF
• élaboration à diverses température
de l'ambiante à 1000°C
• pression de base : 10e-9 mbar
• deux systèmes de cathodes face à
face
• un cluster de 3 mini-magnétrons
• mesures magnétiques par effet Kerr in situ
• RHEED
Contacts :
- Jean-François
BOBO LPMC-INSA bobo@insa-tlse.fr
- Etienne SNOECK CEMES-CNRS
snoeck@cemes.fr
Le bâti de pulvérisation cathodique
("sputtering")
