Microscopes à effet
tunnel et force atomique
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existants |
| Micro-salle blanche en ultravide (DUF) |
en construction |
| Nano-testeur 4 pointes LT-UHV |
acquisition prévue |
| LT-UHV STM (manip. atome et de molécule
unique) |
acquisition prévue |
| Un ensemble de microfabrication |
acquisition prévue |