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Atom-Tech & Procédés
Plateforme "Atom-Tech & Procédés"
La plateforme Atom-Tech et Procédés (ATP) regroupe un ensemble cohérent d’équipements et de compétences permettant l’élaboration, la caractérisation et le design des matériaux à l’échelle micro et nanométrique.
Animée par Grégory Seine, elle coordonne 5 services :
Service de Salle blanche, sous la responsabilité de Sébastien Pinaud, avec Christian Bourgerette, Laure Noé et Dominique Lamirault
Service de Croissance Physique, UHV, Implantation Ionique, sous la responsabilité de Béatrice Cambus, avec Sophie Barre
Service de Microscopies à sonde locale, sous la responsabilité de Grégory Seine
Service de Synthèse Chimique, sous la responsabilité de Christine Viala, avec Tony Chevalier
Service de Champ proche et ultravide, sous la responsabilité du directeur du CEMES, avec Jimmy Faria
Répartis sur plus de 700 m² dont plus de 400 m² en salle blanche, nos outils expérimentaux ouvrent la voie à la réalisation atome par atome de circuits électroniques atomiques, à la synthèse chimique de molécule-circuit ou molécule-machine, ainsi qu’à leur interconnexion électronique ou mécanique, avec une précision picométrique, par des techniques de nano-fabrication multi-échelle.
En outre, la plateforme ATP rassemble également les procédés de nanofabrication permettant la croissance de couches minces métalliques ou isolantes et la modification fonctionnelle des substrats par implantation ionique.
Pour l’étude et la caractérisation de nos réalisations, nous disposons d’outils d’imagerie et de spectroscopie en champ proche, ainsi que d’outils de mesures du transport électrique à l’échelle macro ou nanoscopique. Ces outils sont disponibles en conditions ambiantes ou sous ultravide à basse température.
