Dépôts par "Atomic Layer Deposition" d’oxydes de terres rares pour des applications innovantes en électronique
Correspondant CEMES
S. Schamm
Type d’aide
Collaboration dans le cadre d’un contrat Européen STREP "REALISE"
Résumé
REALISE mobilise des expertises en chimie fine, croissance de film et analyses d’interfaces et les transfère pour trouver des solutions matériau pour l’industrie de la microélectronique.