Mécanismes physiques dans le procédé SmartCut et réalisation de substrats avec couche enterrée
Correspondant CEMES
A. Claverie
Type d’aide
Contrat de Recherche Amont, Bourse CIFRE, Contrat ANR
Résumé
Les études concernent les mécanismes physiques à l’oeuvre dans le procédé SmartCut, notamment la précipitation de l’Hydrogène et de l’Hélium, ainsi que la réalisation de substrats avec une couche enterrée fonctionnalisée, pour intégration de nanosystèmes.